项目编号:
3732-25426HW06001
公告类型:
招标公告
截止时间:
2025-10-10 10:10:00
招标机构:
******有限公司
招标地区:
广东省
购买标书
******有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2025-09-19在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:带磁控沉积的离子束刻蚀机采购
资金到位或资金来源落实情况:资金已到位
项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件
2、招标内容
招标项目编号:3732-25426HW06001
招标项目名称:带磁控沉积的离子束刻蚀机采购
项目实施地点:中国广东省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 带磁控沉积的离子束刻蚀机采购 | 1 | *最大样品尺寸直径6英寸,兼容4英寸 (载盘式设计)
刻蚀速率 ≥ 15 nm/min(6寸晶圆,SiO2膜)
*刻蚀均匀性≤ 3 % 6寸晶圆,SiO2膜, (max - min)/(2 x mean))
*设备采用2.45GHz微波离子源
*离子束有效束径190mm
*真空腔室带HIDEN Analytical Ltd. SIMS终点检测装置,设备具有相应的法兰接口
*真空腔室带磁控溅射源接口
*工件台倾斜角度可调,调节范围0-160度,控制精度+/-0.1°
*磁控溅射源安装在腔室顶部,用于介质的镀膜工艺,做原位侧壁保护 | |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:投标人应具备的资格:
1)投标人必须具备独立法人资格,并在必联网(
******)或机电产品招标投标电子交易平台(
******)注册成会员,境内投标人投标文件须提供加盖投标人公章的营业执照复印件。
2)本项目不接受联合体投标,不允许转包分包;
3)投标人及其法定代表人参与政府采购活动前三年内(投标人成立不足三年的可从成立之日起算),在经营活动中无重大违法记录、无行贿犯罪记录、无串通投标、弄虚作假不良行为记录被暂停投标资格期间的情况(由投标人在《政府投标及履约承诺函》中作出声明);
4)符合国家法规政策关于诚信管理的要求,至投标截止时间,投标人未有在“信用中国”网(
******)、中国政府采购网(
******)、深圳市政府采购监督管理网(
******)、深圳公共资源交易网(
******)和“国家企业信用信息公示系统(
******)等5个官网中列入“失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单” (由投标人在《政府采购投标及履约承诺函》中作出声明);
5)招标技术文件中要求的其它资质文件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2025-09-19
招标文件领购结束时间:2025-09-26
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点:广东省深圳市罗湖区深南东路2001号鸿昌广场13楼1301-1302室
招标文件售价:¥1000/$150
5、投标文件的递交
投标截止时间(开标时间):2025-10-10 10:10
投标文件送达地点:深圳国际量子研究院(深圳市福田区福田保税区槟榔道10号深圳国际量子研究院604)
开标地点:深圳国际量子研究院(深圳市福田区福田保税区槟榔道10号深圳国际量子研究院604)
6、联系方式
招标人:深圳国际量子研究院
地址:深圳市福田区保税区槟榔道10号
联系人:叶老师
联系方式:0755-
******-8216
******有限公司
******街道学苑大道U创大厦东座212室
联系人:林福宏、林荣航、罗锦燕
联系方式:0755-
****** ******7、汇款方式:
******银行深圳香蜜湖支行
******银行深圳文锦渡支行
账号(人民币):
************069
账号(美元):
******6502
其他:(人民币Swift code: CIBKCNBJ518)
(美元Swift Code:BKCHCNBJ45A)